Ultra magas felbontású térsugárzó szkennelő elektronmikroszkóp Regulus sorozat
A meglévő SU8240, SU8230, SU8220 és SU8010 modellek újra integrálódtak, hogy a Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 és Regulus 8100 legyenek.
A "Regulus sorozat" a meglévő modellek megfigyelési és elemzési teljesítményét örökölte az SU8200 sorozat alacsony zajú hidegmező elektromos pisztolyával*1Nagyon stabil áramlást érhet el.
Az elektronikus optikai rendszerek optimalizálásával a Regulus 8240/8230/8220 felbontását 1 kV körülmények között 0,7 nm-re, a Regulus 8100 felbontását pedig 0,8 nm-re növelte.
Ezenkívül az ultra-magas felbontású képességek teljes kihasználása érdekében a nagyítási sebesség az előző 1 milliószor 2 milliószor nőtt.*1Az.
A Regulus 8240/8230/8220/8100 továbbfejleszti a felhasználói támogatási funkciót is, amely megkönnyíti a felhasználók számára, hogy megértsék a különböző bonyolult jelek érzékelési elveit, és segíti a felhasználókat a műszer teljesítményének optimális kiaknázásában.
- *1
- Csak a Regulus 8240/8230/8220
-
Jellemzők
-
specifikációk
Jellemzők
- A "SU8200 sorozat" hidegmező elektropisztolya*2
- Az elektronszag stabil megfigyelési tartományként alkalmazása, amely a villogás után megjelenik, lehetővé teszi a magas felbontású megfigyelés és elemzés optimális teljesítményét alacsony gyorsulási feszültség körülményei között
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Kis szennyező, nagy vákuumú mintakészlet
- Energiaszűrő (opcionális) segítségével több összetevő kontrasztját lehet megfigyelni*2
Nagy felbontású megfigyelés rendkívül alacsony leszállási feszültséggel
Minta: Arany részecskék
Leszállási feszültség: 10 V
Ultra magas felbontású megfigyelés
Minta: Pt katalizátor
Gyorsítási feszültség: 30 kV
Magas felbontású EDX elemzés alacsony gyorsulási feszültséggel
Minta: Sn labda
Leszállási feszültség: 1,5 kV
- *2
- Csak a Regulus 8240/8230/8220
specifikációk
Projektek | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Másodszoros elektronikus felbontás | 0.7 nm (gyorsítási feszültség 15 kV) 0.8 nm (leszállási feszültség 1 kV)*3 |
0,6 nm (gyorsított feszültség 15 kV) 0,7 nm (leszállási feszültség 1 kV)*3 |
|||||
Leszállási feszültség | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
Nagyosítás | 20-1000 000-szer*4 | 20-2 000 000-szor*4 | |||||
mintasztal | Mintavezetés | 3 tengelyes motorállomás (opcionális 5 tengelyes motorállomás) | 5 tengelyes motorhajtás | ||||
Mozgatási tartomány | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
Megismételhetőség | - | - | - | ±0,5 µm alatt ±0,5 µm |
- *3
- Megfigyelés lassítási módban
- *4
- 127 mm × 95 mm-es felvétel alapján
Kapcsolódó termékkategóriák
- Fókuszos ionsugárrendszer (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM minta előfeldolgozási berendezés