OTL-PECVD-1200-1400-1200 három hőmérsékleti zóna PECVD rendszer, amely három csúszó rúd vákuumcső kemencéből, kvarc vákuumkamrából, rádiófrekvenciás tápegységből, GX gázelátási rendszerből, gázszivattyítási rendszerből, vákuummező rendszerből és elektromos húzógépből áll.

Fő jellemzői:

1. Rádiófrekvenciás áramellátás segítségével a kvarc vákuum kamrában lévő gázokat ionolási állapotba alakítja.

2. A PECVD alacsonyabb hőmérsékletet igényel a kémiai gáz lerakodásához, mint a hagyományos CVD

3. A rádiófrekvenciás áramellátás frekvenciájával ellenőrizhető a lerakodott film feszültségének mérete

A PECVD magas a kémiai gáz-fázis lerakodási sebessége, jó egységessége, magas a konsistencia és a stabilitás, mint a hagyományos CVD.

5, széles körben alkalmazott: különböző vékony film növekedése, mint például: SiOx, SiNx, SiOxNy és szterotipatlan szilícium (a-Si: H) stb.

Ez a három hőmérsékletű zóna PECVD rendszer egy gyors fűtésre és hűtésre alkalmas PECVD rendszer, amely három csőmérsékletű kemencébe van telepítve egy pár elektromos csúszópályát, amely elektromos csúszórendszert használ. Fűtés és hűtés sebessége akár 100°C/perc. A lehető leggyorsabb felmelegedés érdekében a kemence előre felmelegedhető a beállított hőmérsékletre, majd a kemence áthelyezése a mintabeleTegye le. A lehető leggyorsabb hűtés érdekében a sütőt a minta felhűtése után a másik végére lehet áthelyezni. Fűtés- és hűtési sebesség vákuum vagy inert gáz környezetben elérhető10 ° C / s, alacsony költségű gyors fűtés és hűtés kettős hőmérsékleti zóna PECVD rendszer.

Ez a három hőmérsékleti zóna PECVD rendszer a svéd Kanthal ellenállási vezeték és a szilícium szénrád fűtési elemek, kettős rétegű ház szerkezet és 30 szakasz program hőmérséklet mérő, fázisváltás indító, vezérlhető szilícium vezérlés, a kemence japán importált alumínium-oxid polikristályos szál anyag, a kemence cső mindkét végén rozsdamentes acél flanges tömítés, rozsdamentes acél flanges szerelt légszáj, szelepA nyomásmérő, a vákuum szivattyításakor elérheti a 10-3 Pa-t, két hőmérsékleti zóna, két hőmérsékleti zóna függetlenül ellenőrizhető, különböző hőmérsékletet állíthat be, kényelmes használat, egyszerű működés, a kemence hőmérsékleti egyensúlyt, alacsony felületi hőmérsékletet, gyors hőmérsékleti sebességet, energiatakarékosságot és egyéb előnyöket kínál, az egyetemek, kutatóintézetek, bányászati vállalatok magas A csomók, a grafén növekedése és a különböző vékony filmek növekedése ideális terméke.

(1), a szilícium szén rúd forró végének vastagsága 14 mm, az általános gyártó által elfogadott 12 mm, a fűtési vég vastag, nem könnyű hajlítani, a rúd felületi terhelése alacsony, hosszú élettartam.

（2), m hideg vég hossza 210 mm, általános gyártó 180 mm, hideg vég hosszú kemence tetejének hőmérséklete alacsony.

(3) a szilícium szénrád felülete oxidált nem kristályos membrán sűrű, amely viszonylag jól védi a szénrádot.

Az áramkör túláramlás vagy szivárgás esetén az üres nyitás automatikusan megszakad

A légkör csőkemenceDe...Kommunikációs interfészekkel és szoftverekkel, közvetlenül a számítógépen keresztül ellenőrizhető a kemence különböző paraméterei, és a számítógépen megfigyelhető a kemence PV és SV hőmérsékleti értékeinek és műszereinek működése, a kemence tényleges melegedési görbéjének számítógépe valós idejű rajzolása, és minden pillanatban mentheti a hőmérsékleti adatokat.

(1) a vákuumszívó formázás kiváló minőségű, tiszta alumínium-oxid polikristályos szál keményítési kemence.
(2) Japán technológia alkalmazása.
(3) alacsony hőkapacitás, alacsony hővezető tényező, így kevés hőhűtés, jó hőszigetelés, magas tükrözőképesség. Hőmérsékleti egyensúly.
(4), a sütő alumínium-oxid vékony és hosszú, magas hőmérséklet ellenálló, hőnövekedés elleni hűtési képesség erős
(5) a kemence felülete tiszta, nem könnyű elporozni.

(Az összes importált elektromos készülék UL tanúsítvánnyal rendelkezik)