A CVD rendszer a gázelátási rendszer + csőkemence + gázszivattyítási rendszer, a maximális hőmérséklet elérheti 1200 fokot, 1400 fokot, 1600 fokot, 1700 fokot, a fűtési tartomány lehet egy hőmérsékleti zóna, kettős hőmérsékleti zóna, három hőmérsékleti zóna stb., a határvákuum elérheti a 10-3Pa, a gázelátási rendszer áramlási szabályozása lehet a proton áramlási mérő vagy a lebegő áramlási mérő, a keverő útvonalak száma 2, 3, 4, 5 vegyes.

A CVD rendszer a KTL1600 csőkemencéből + vákuumrendszerből áll.

(1), a szilícium-molibden rúd forró végének vastagsága D1 7 mm, az általános gyártó által alkalmazott 6 mm, a fűtési vég vastag, nem könnyű hajlítani, a rúd felületi terhelése alacsony, hosszú élettartam.

（2) hő hajlítási technológia, egyenletes ellenállás, hosszú élettartam

(3), a Lu hideg vég hossza 210 mm, a 400X300X300 kemence 260, az általános gyártó 180 mm, a hideg vég hosszú kemence tetejének hőmérséklete alacsony.

(4) a szilícium-molibden rúd felülete oxidált nem kristályos film sűrű, képes viszonylag jó védelem a szilícium-molibden rúd.

Az áramkör túláramlás vagy szivárgás esetén az üres nyitás automatikusan megszakad

A légkör csőkemenceDe...Kommunikációs interfészekkel és szoftverekkel, közvetlenül a számítógépen keresztül ellenőrizhető a kemence különböző paraméterei, és a számítógépen megfigyelhető a kemence PV és SV hőmérsékleti értékeinek és műszereinek működése, a kemence tényleges melegedési görbéjének számítógépe valós idejű rajzolása, és minden pillanatban mentheti a hőmérsékleti adatokat.

(1) a vákuumszívó formázás kiváló minőségű, tiszta alumínium-oxid polikristályos szál keményítési kemence.
(2) Japán technológia alkalmazása.
(3) alacsony hőkapacitás, alacsony hővezető tényező, így kevés hőhűtés, jó hőszigetelés, magas tükrözőképesség. Hőmérsékleti egyensúly.
(4), a sütő alumínium-oxid vékony és hosszú, magas hőmérséklet ellenálló, hőnövekedés elleni hűtési képesség erős
(5) a kemence felülete tiszta, nem könnyű elporozni.

(Az összes importált elektromos készülék UL tanúsítvánnyal rendelkezik)

Elektromos űrprogram hőmérő (szabványos)

1, 30 szakasz program hőmérséklet intelligens PID szabályozás.

2, túlhőmérsékletvédelem A csatlakozó elleni túlhőmérséklet vagy a csatlakozó elleni védelem a kemence fűtési áramkörét automatikusan levágja, (ha a kemence hőmérséklete meghaladja a 1200 fokot, vagy a termopár égett, az AC relé a főáramkörön automatikusan levágja, a főáramkör levágja, a panel ON fénye kikapcsolható, a fény kikapcsolható, korlátozott védelmi kemence).

485 kommunikációs interfészel (szoftver vásárlásakor szabványos)

4, az áramkapcsolás védelmi funkciója, azaz az áramkapcsolás után a kemence indítása, a program nem a kezdeti hőmérséklet, hanem a kemence hőmérséklete, amikor az áramkapcsolás kezdődik.

5. A műszer hőmérséklet önszabályozó funkciójával rendelkezik