Modellszám

K1000A

K1000B

K1000C

Áramlási specifikációk (N2 átalakító áram)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

2. szekrény: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, levegő stb.)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

szeleptípus

N/O: Általánosan nyitott, N/C: Általánosan zárt

N/C: Általában zárt

Áramszabályozási tartomány

2%～100%F.S.

Pontosság

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(pontossági tartomány 15-35 °C)

± 1% FS (pontossági tartomány 15 ~ 35 ℃)

± 2% F.S. (pontossági tartomány 15-35 ℃)

munkakörnyezeti hőmérséklet

5～50℃

5～45℃

Választási idő

≦1sec

≦3sec

Lineáris

±0.5%F.S.

Ismétlési pontosság

±0.2%F.S.

Munkás nyomáskülönbség tartománya

N/O100-300KPa (3SLM-10SLM)

50-300KPa

N/O150-300KPa (11SLM-30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100-300KPa)

N/C100-300KPa (3SLM-30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100-300KPa

150-300kPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Hőmérsékleti tényező

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Maximális munkanyomás

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Nyomás ellenállás

1MPa

Kizivárgási arány

Fém tömítés: 1 x 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Gumi tömítés: 1 x 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Gumi tömítés: 1 x 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Tömítési anyagok

fém tömítés; fluorgumi; Neopren gumi

fluorgumi; Neopren gumi

Kommunikációs formák

Analóg: 0-5V DC Digitális: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Analóg: 0-5V DC Digitális: RS485, DeviceNet,

áramellátás

Analóg / digitális: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Szabványos csatlakozó formák

1/4 napos csatlakozó, 1/4 napos csatlakozó, 1,5'' W-Seal, 1,125'' W-Seal, 1,125'' C-Seal

VCR 3/8 napos csatlakozó, dupla kártya 3/8 napos csatlakozó

VCR 1/2 nap csatlakozó, dupla kártya 1/2 nap csatlakozó

Súly

1.0kg

3.0kg

3.7kg