Membrán vastagság vezérlő- Fornitore globale

Zhengzhou High-tech kerület Jingchang utca Zhengzhou Yida Technology New City 5. épület 4. emelet 401

Részletek:

Membrán vastagság vezérlő

Műszaki jellemzők:

1. Teljes érintőképernyő, egyszerű használat;

2.32Minden membrán, minden membrán50/100réteg automatikus bevonat;

3. 12Utazási jelbemenet/12kapcsolómennyiségi kimenet;

4. Teljesen automatikus, félautomatikus és manuális vezérlési mód;

5.Ellenőrzhető2egy forrás, egy készlet munka egy másik készlet előoldás;

Műszaki paraméterek

	CY-FDC-S vezérlő
Kristály rezgési frekvencia	6 MHz (opcionális 2.5M 3M 5M 9M kristály)
Megjelenítés módja	5" színes érintőképernyő + digitális cső kijelző sebesség és valódi vastagság
Műveleti mód	Érintőképernyő
Véges vastagság	00μ0000Å-99μ9999Å
Vastagsági kijelző felbontása	1Å/s
A sebesség kijelző felbontása	0.1Å/s
bevonatrétegek száma	32 membrán rendszer, minden membrán 50/100 réteg;
Szóndok száma	A B
Eszközi tényezők	0.01-99.99
Idő megjelenítése	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Teljesítmény kijelző	0～99.9%
Elolvadt teljesítmény	0～99%
Előre bevont teljesítmény	0～99.9%
Elolvadási idő / előborítási idő	0～99:99 m:s
Elolvadt szigetelési idő / előre bevont szigetelési idő	0～99:99 m:s
bevonatsebesség (beállított sebesség)	0～999.9Å/s
Anyagtárolás	257+ egyéni 10
kommunikációs	RS232/RS485
Ellenőrzhető párologási forrás	2, az egyik készlet működhet, a másik készlet előre oldható
Kimeneti vezérlés	±10V/5V/2.5V
I/Interfész	12 jelbemeneti / 12 kapcsolókimeneti
Kontrolálható tűzhedék száma	1-16
bevonat kijelző	Sebességi görbe/érték
A bevonatkörök száma	Automatikus 50/100 rétegű membránrendszer
Ház mérete	480 × 280 × 89mm (2U 19" ház)

Különleges funkciók:

1Manuális, félautomatikus, automatikus3A bevonatos mód, hogy megfeleljen a különböző bevonatos gép konfigurációk;

2A bevonat mesterséges leállítása: a bevonat mesterséges leállítása a bevonat során;

3kézi vezérlés: meghatározza az első bevonatfolyamat követelményeit;

4A megszakítási membrán rendszer: az automatikus és félautomatikus bevonatban problémákat vagy hibákat találtak, megállíthatják a bevonatot és automatikusan menthetik a jelenlegi állapotot, a hiba ** után folytathatják a bevonatot a megszakítási membrán rendszerből;

5Automatikus vagy félautomatikus bevonás esetén, ha a kristályos rezgés meghibásodott, akkor a bevonás befejezése, az aktuális teljesítmény ideje szerint a bevonás, a chip folytatása (többchipes szonda) váltása;

6Két forrás egyidejűleg olvad: az aktuális réteg bevonatának kezdete során egyidejűleg választható2A réteget előolvasztják, hogy megfeleljenek az időigényes alkalmaknak;

7Jelszóvédelem: a membránrendszer és a membránréteg paraméterei jelszóvédelmi funkciója, a folyamati paraméterek védelme a nem műszaki személyzet módosításától;

8A bevonatadatok rögzítése: automatikus vagy félautomatikus bevonatkor a rendszer rögzítheti az egyes rétegek filmképzési idejét és a végső vastagsági sebesség paramétereit.