Előnyök
• CS100 termékek az ügyfél testreszabott tervezése,
• Az ügyfelek igénye szerint ±15V kettős tápegység vagy +24 egyetlen tápegység;
• fém vagy gumi tömítés;
• A termékméretek a nemzetközileg általánosan alkalmazott SEMI szabványoknak megfelelő termékekre, valamint a szűrítő termékekre is választhatók.
Műszaki paraméterek
CS100 |
||||||||||||||
Modellszám |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
szeleptípus |
Gyakran zárva |
Nincs |
Gyakran zárva |
Nincs |
||||||||||
áramlási specifikációk (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Pontosság |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
Lineáris |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
Ismétlési pontosság |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
Választási idő |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Munkás nyomáskülönbség tartománya |
0.05~0.35MPa; áramlási specifikációk ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; áramlási specifikációk ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Hőmérsékleti tényező |
0 pont: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Beállítás: ≤ ± 0,1% FS / ℃ |
|||||||||||||
Nyomás ellenállás |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Kizivárgási arány |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
Tömítési anyagok |
Fluorogumi |
Fém tömítés |
||||||||||||
Maximális munkanyomás |
0.45MPa |
|||||||||||||
munkakörnyezeti hőmérséklet |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
Bemeneti jel |
Szimuláció: |
Számszám: RS485 |
Nincs |
Nincs |
Szimuláció: |
Számszám: RS485 |
Nincs |
Nincs |
||||||
Kimeneti jel |
Szimuláció: |
Számszám: RS485 |
Szimuláció: (0-5) VDC |
Számszám: RS485 |
Szimuláció: |
Számszám: RS485 |
Szimuláció: |
Számszám: RS485 |
||||||
Tápegység csatlakozó formája |
D típus 9 D típus 15 tű |
D típus 9 O típus 3 tű |
D típus 15 tű |
D típus 9 D típus 15 tű |
D típusú 9 tűs csatlakozó; O típusú 3 tűs csatlakozó |
D típusú 15 tűs csatlakozó |
D típus 9 D típus 15 tű |
D típus 9 O típus 3 tű |
D típus 15 tű |
D típus 9 D típus 15 tű |
D típusú 9 tűs csatlakozó; O típusú 3 tűs csatlakozó |
D típusú 15 tűs csatlakozó |
||
Tápegység |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
Automatikus nullázás |
Támogatás |
|||||||||||||
Felületi durvosság |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Szabványos csatlakozó formák |
kettős kártya φ6; kettős kártya φ3; kettős kártya 1/4'; kettős kártya 1/8'; VCR1/4´ csatlakozó; φ6 (belső) x1 tömlőcsatlakozó; φ5 (belső) x1,5 tömlőcsatlakozó; φ4 (belső) x1 tömlőcsatlakozó |
VCR1/4″ csatlakozó |
||||||||||||
Súly |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |